Ekstremna ultraljubičasta litografija (EUVL) je napredna tehnologija koja koristi izvor svjetlosti od 13.5 nm i vodeći je kandidat za čvor od 22 nm litografija i dalje. EUV litografija sada je u pilot fazi s 0.33-NA alatima na mjestima za proizvodnju čipova. Masovna proizvodnja se očekuje u bliskoj budućnosti.
EUV litografija alati koriste izvor plazme za generiranje fotona od 13.5 nm.
Uzorci s reflektirajuće maske prenose se na podlogu presvučenu materijalom osjetljivim na svjetlost koji se naziva fotorezist. Tehnika uzorkovanja odvija se u vakuumu u konfiguraciji potpuno reflektirajuće optike. Izradite integrirane sklopove s tiskanim značajkama manjim od 32 nm,
EUV svjetlo iz plazme se skuplja u kolektor koji usmjerava svjetlost u optiku za oblikovanje koja se naziva "optika osvjetljenja". Svjetlo osvjetljava fotomasku. Optika za osvjetljavanje sastoji se od višeslojno obloženih normalnih upadnih zrcala i pašnjačkih upadnih zrcala.
ja V maske su 6-inčni kvadratni materijali niske toplinske ekspanzije debljine 1/4 inča koji imaju višeslojnu reflektirajuću prevlaku i sloj apsorbera urezan u sloj kruga. Reflektirana slika EUV maske ulazi u projekcijsku optiku koja se sastoji od šest ili više višeslojnih zrcala s NA > 0.25.
Konačna slika fokusirana je na silikonsku pločicu obloženu fotoosjetljivim otpornikom za jetkanje ili fotorezistom. Sustav radi u okruženju s niskom razinom ugljikovodika i visokim vakuumom.
Među mnogim izazovima s kojima se suočavaju su izvor svjetlosti, otpornici i infrastruktura za maske te razvoj alata za litografiju koji su ekonomični.
Otporni materijal mora istovremeno imati visoku rezoluciju, visoku osjetljivost, nisku hrapavost rubova linija (LER) i nisko ispuštanje plinova.
Zatražite povratni poziv!
Hvala vam na interesu za TT Consultants. Molimo ispunite obrazac i mi ćemo Vas uskoro kontaktirati
OTKLJUČAJ SNAGU
Tvojih Ideje
Unaprijedite svoje znanje o patentima
Ekskluzivni uvidi čekaju vas u našem biltenu
Zatražite povratni poziv!
Hvala vam na interesu za TT Consultants. Molimo ispunite obrazac i mi ćemo Vas uskoro kontaktirati
